RFH620-1001201S0 

RFH620-1001201S0

ISA-95 层级包括第 0 级（适用于包含所有传感器和执行器的物理设备）到第 4 级，涵盖各种企业业务系统。每个层级的垂直整合需要对接口进行标准化。在半导体行业中，很久以前设备整合便在 SECS/GEM 接口上进行过标准化。高速 SECS 消息服务 （HSMS） 的建立是为了通过更高速的以太网来支持 SECS/GEM 通信。随着传感器的使用量增多，半导体设备现在已能够传输大量工程数据。

为了支持高速诊断数据采集，工程数据接口（现在称为接口 A）已经与控制接口分开，仅用于采集设备数据。这满足行业的需求，可将所有数据放在一个通用平台上以实现一致性和便捷整合/分析。其结果是提高了批次 （R2R） 控制和故障检测以及分类 （FDC） 分析等各种分析解决方案的效率，而这些分析可作为应用材料公司的 SmartFactory® 制造解决方案的一部分。

RFH620-1001201S0

监测模块3500/25-01-01-00
监测模块3500/32-01-00,
监测模块3500/33-01-00,
监测模块3500/40-01-00,
监测模块3500/42-01-00,
监测模块3500/42-04-00
监测模块3500/45-02-00
监测模块3500/53-03-00




监测模块3500/92-01-01-00
监测模块3500/50-01-00-01
监测模块3500/22-01-01-00
框架3500/05-01-01-00-00-00
键相器模块3500/25-02-04-00             
3500/42-01-00 
3500/42-01-01      

3500/42-02-00 
3500/42-03-00
3500/42-04-00 
3500/42-07-00 
3500/42-07-01 
3500/42-09-00
3500/32-01-01 
3500/33-01-00
3500/33-01-01 
3500/34-01-00 
3500/40-01-00 

3500/40M-03-00        
3500/20-01-02-00               
3500/15-02-02-00  
3500/22-01-01-00 
3500/22-02-01-00
3500/25-01-01-00 
3500/25-01-02-00 
3500/25-01-03-00 
3500/25-02-01
3500/25-02-01-00 


3500/32-01-00 
3500/32-01-01 
3500/32-01-00 
3500/42-01-00 
3500/42-01-01 
3500/42-02-00 
3500/42-03-00
3500/42-04-00 
3500/42-07-00 
电源模块3500/15-02-02-00
框架接口模块3500/20-01-01-00
框架接口模块3500/20-01-02-00
框架接口模块3500/20-02-02-00
框架接口模块3500/22-01-01-00
键相器模块3500/25-01-01-00
3500/42-01-00